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净化设备发展和应用

来源:www.srjhsb.com  |  发布时间:2018年04月23日

    净化工程技术在电子、核子、航空航天、生物工程、制药、精密机械、化工、食品、汽车制造等高科技工业领域及现代科学领域中得到广泛应用。
    对于半导体设备来讲,净化工程技术在微电子技术中起着十分重要的作用。微电子技术的核心是集成电路,而集成电路的生产对其工艺环境和工艺流程中的净化技术和设备提出了严格的要求。我国“九五”期间大力发展以微电子为重点的信息产业。净化工程技术水平在某种意义上已成为衡量一个国家和地区科学技术水平和工业水平的一个重要标志。
    随着我国人民生活水平提高,人们对生存环境及生活质量提出了越来越高要求,用水纯化设备制备的高纯水已受到人们普遍欢迎,净化工程技术已开始进入千家万户,进入人们的现代生活。
    世界各工业先进国家为适应超净技术的发展,对大量使用的高效过滤器的研究从未中断,几年来一直在开发不同结构不同性能的新产品,美国自1979年开始研制0.1微米ULPA过滤器,1984年美国AAF公司开始生产0.1微米无隔板ULPA过滤器,目前0.1微米ULPA过滤器在美国AAF公司、FLANDERS公司和CAMBRIDGE公司已形成商品化生产。日本也已成为世界上生产0.1微米ULPA过滤器厂家最多的国家,品种繁多,产品系列化,尤其是低压损型0.1微米ULPA过滤器的开发成功解决了初阻力大的技术难题。
    在洁净室建设规模和技术水平上,我国与先进国家差距更大。日本清水建设公司一家,1982年到1987年期间承建的洁净室面积达71.8万平方米,而我国目前一年承建的洁净室总面积还不到10万平方米,但八五期间有较大发展,1993年承建洁净室总面积已接近15万平方米。美国的洁净室建设规模更大,1998年统计已达188.5万平方米。
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